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一般名: 超純水製造装置
メーカー名: メルク Merck KGaA
型番: Direct-Q UV3
装置概要:
採水量: 500 mL/min
比抵抗値: 18 MΩ?cm以上(25℃)
供給水: 水道水
タンク容量: 5 L